Etude des propriétés physico-chimiques des matériaux conducteurs transparents (TCO) déposés par pulvérisation magnétron réactive

Abstract

Ce travail porte sur l?étude des propriétés physico-chimiques des matériaux conducteurs transparents (TCO) déposés par pulvérisation magnétron réactive pour applications aux cellules solaires photovoltaïques avec différents protocoles de dépôt, en étudiant rigoureusement tous les paramètres influant sur ce dépôt tel que le courant de décharge, la pression du gaz d?oxygène et d?argon introduit dans l?enceinte de dépôt. Tous les films minces déposés ont été caractérisés par différentes techniques structurale, morphologique et optique et mise en relation avec les performances photovoltaïques. En effet l?étude des propriétés intrinsèques des films de SnO2, NiO et de ZnO déposées en couches minces réalisées par PVD et l?optimisation des paramètres expérimentaux a permis de dégager d?une part les meilleures propriétés physico-chimiques adéquates et d?autre part la possibilité d?utiliser l?oxyde de nickel comme couche tampon dans une cellule solaire organique.